以真空压力为零位参考点的大气压、真空度和压力的测量在科学研究和工业仪表中有很广泛的应用。我们用的微机械加工技术制造，参考压力腔用真空静电封接技术开发了该项不同应用面的系列产品。cyg002用于粗真空度及环境大气压的测量，是膜盒真空计高度计的代替产品及真空压力计的代换产品。cyg003则是采用进口不锈钢波纹隔离膜片为敏感组件制作的通用传感器，是一种宽量程介质普适性强的压力传感器。 型 号 cyg002 cyg003 量 程 0~100，200kpa 0~10，16，…1000kpa 100mpa 零位输出 ≤±10mv ≤±5mv 满量程输出 30~200mv（视量程而定） 过载能力 200﹪ 供电电源 恒流源供电9 ma或恒压源供电﹢15v 恒流源供电1~2 ma或恒压源供电﹢15v 电桥阻抗 0.3~1 k? 3~6 k? 补偿温区 ﹣10℃~﹢60℃ 工作温区 ﹣40℃~﹢80℃ 适用介质 无腐蚀性气体及对硅、玻璃、树脂不腐蚀、相兼容的介质 压力接口 m12×1、m20×1.5、亦可特定外型及接口